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FFU送風方式在凈化空調系統中的應用1、隨著生產工藝的不斷發展，微電子工業對環境及其配套工程的要求越來越嚴格，其產品的成品率和可靠性主要取決于材料的純度和制造環境的潔凈度，對潔凈技術的要求越來越高...132025/11
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一種風量均勻的FFU裝置一種風量均勻的FFU裝置 技術領域 本申請涉及空氣凈化裝置的領域，尤其是涉及一種風量均勻的FFU裝置。 背景技術 FFU(Fan Filter Units)，即...132025/11
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一種彈壓嵌合式FFU系統安裝結構一種彈壓嵌合式FFU系統安裝結構 技術領域 本實用新型涉及FFU安裝技術領域，更具體的說是涉及一種彈壓嵌合式FFU 系統安裝結構。 背景技術 半導體設備包括外殼...132025/11
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一種褶皺無紡布濾芯及與其組裝的空氣過濾器以及控制方法一種褶皺無紡布濾芯及與其組裝的空氣過濾器以及控制方法 技術領域 本發明涉及一種空氣濾清技術領域，尤其涉及一種褶皺無紡布濾芯及與其組裝的空氣過濾器。 背景技術 在...132025/11
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一種具有良好導流功能的FFU系統安裝結構一種具有良好導流功能的FFU系統安裝結構 技術領域 本實用新型涉及FFU安裝技術領域，更具體的說是涉及一種具有良好導流功能的FFU系統安裝結構。 背景技術 半導...132025/11
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一種適用于濕法設備的FFU系統聯動循環結構一種適用于濕法設備的FFU系統聯動循環結構 技術領域 本實用新型涉及濕法設備技術領域，更具體的說是涉及一種適用于濕法設備的FFU系統聯動循環結構。 背景技術 濕...132025/11
